产品名称：美国OMEGA气体质量流量控制器

微处理器驱动的数字流量控制器允许对 通过RS485接口（可选RS232）通过计算机处理各种气体。控制器可以是 针对各种控制功能进行编程，包括流量设定值、累加器、停止累加器、读取 累加器、预设流累加器、预设总计停止、自动归零等。

工作原理

计量气体分为两条层流路径，一条通过主流管道，另一条通过其他通过毛细管传感器管。两种流动管道都旨在确保层流和，因此，它们的流速之比是恒定的。两个精密温度感应绕组传感器管被加热，当流动发生时，气体将热量从上游带到下游绕组。由此产生的温差与传感器绕组的电阻。惠斯通电桥设计用于监测温度传感器绕组上的相关电阻梯度与瞬时成线性比例流速。惠斯通电桥的输出通过12位ADC转换为数字格式（模数转换器）。板载微处理器和非易失性存储器存储所有校准因素并直接控制比例电磁阀。数字闭环控制系统连续将质量流量输出与所选流量进行比较。与通过补偿阀门调整来校正设定值，PID算法从而保持具有高精度的所需流量参数。0至5Vdc或4至20mA的输出信号生成指示计量气体的基于质量分子的流速。

接口

数字接口通过RS485（可选RS232）运行，并提供对适用内部的访问数据包括流量设定值、实际流量、零点调整和线性化表调整。这模拟接口提供0至5Vdc、0至10Vdc和4至20mA输入和输出。

自动归零

当流量设定值低于满时的 2% 时，FMA6500会自动将传感器零点偏移清零规模。为了适应此功能，控制阀必须在该条件下完全关闭。规定用于通过数字命令禁用、强制或存储当前的自动归零。

累加器

FMA6500的固件提供记录总气体量的功能。气体的总质量为通过对实际气体流量相对于时间进行积分来计算。数字接口命令是提供给：将累加器设置为零;启动/停止累计流;阅读累加器;启动预设流量的累加器以预设的总流量停止流量。

多气体校准

FMA6500能够存储多达10种气体的主要校准数据。此功能允许针对多种气体校准相同的FMA6500ST，同时保持每种气体的额定精度。

换算系数FMA6500中存储多达256种气体的换算系数。可应用换算系数通过数字接口命令进行十种气体校准中的任何一种。

流量报警

高低气体流量报警限值使用数字接口进行编程。报警条件为 通过数字接口报告，或激活触点闭合输出。

可编程流量

OMEGA软件支持可编程流量模式，允许执行高达自定义编程十步。各种流量配置包括斜坡、线性递增和递减模式。

自动调谐

AUTOTUNE 功能允许FMA6500自动优化气体的控制响应实际工艺条件。在自动调谐过程中，仪器调整PID增益以获得良好阶跃响应并确定关键控制阀特性（仅适用于小于zui大流量为80升/分钟）。

触点闭合

提供两组干接点继电器输出，以驱动用户提供的设备。这些是通过数字接口进行编程，使继电器可以在指定的发生事件（例如，当超过低流量或高流量报警限值时，或者当累加器达到指定值）。

提供阀门超控装置

通过模拟强制控制阀完全打开（吹扫）或完全关闭或数字接口。

自我诊断

每当初次通电时，FMA6500都会运行一系列自我诊断测试，以确保 处于zui佳工作状态。

工程单位

流量设定值、测量气体流量和相关累加器数据在工程中直接缩放 通过数字接口命令的单位。支持以下测量单位：满量程百分比、毫升/分钟、 毫升/小时、立方英尺/小时、立方英尺、立分升/分钟、立分/小时、磅/小时、磅/分钟和一个用户定义的测量单位。

泄漏完整性

1 x 10-9 smL/秒的氦气zui大值到外部环境。

平衡电源

FMA6500工作在±15 Vdc。电流对正负电源的要求电源经过平衡，使电源公共连接中的电流zui小化。±15 Vdc时的zui大功耗为13.5瓦。FMA6500系列传感器不应用于监测氧气，除非专门为此类应用进行清洁和准备。

请参阅下面的订购说明。

规格

精度（包括线性度）：

15至25℃（59至77℉）和 0.7至4 bar（10至60 psia）：满量程的 ±1%，

0至50℃（32至122℉）和 0.3至10 bar（5至150 psia）：在特定温度和压力下，FS 的 ±2%，FS 的 ±1%，并进行特殊校准

重复性：±0.15% 满量程

量程比：50：1

响应时间：0.6至1.0 秒，在设定值的 ±2% 以内，满量程为 20%至100% 满量程的 0.05%/℃ 或更高

压力系数：0.01% 满量程/平方英寸 （0.07巴） 或更高

泄漏完整性：1x 10-9 smL/秒 氦气对外部环境的zui大影响

zui佳气体压力：1.73巴（25 磅/平方英寸）

zui大气体压力：34.5巴（500 磅/平方英寸）

zui大压差：3.4巴（50 psig），zui高 10 LPM，2.8巴（40 psig），15 LPM 及更高气体和环境温度：5至50℃（41至122℉）

输出信号：线性 0至5 Vdc（2000 Ω zui小负载阻抗）;0至10 Vdc（4000 Ω zui小阻抗）;4至20 mA 可选（0至500 Ω环路电阻）

通讯接口：RS485，标配;RS232，可选

传感器输入功率：±15 Vdc，zui大450 mA

接液部件：316不锈钢，416不锈钢，氟橡胶O形圈;氯丁橡胶或全氟橡胶O型圈可选

连接：标准1/4“压缩接头，zui多30个LPM型号;适用于 60 LPM 及更高型号：3/8“ 压缩接头

电路保护：电路板具有内置极性反转保护;可复位保险丝提供电源输入保护

校准选项：标准 10 点 NIST 校准可选，zui多可订购 9 个额外的 10 点校准，但需额外付费

订货信息：

型号	zui大流速**	压合接头	zui大压力(psid)
FMA6502ST	10SCCM	¹⁄₄"	1.06
FMA6504ST	20SCCM	¹⁄₄"	1.06
FMA6506ST	50SCCM	¹⁄₄"	1.06
FMA6508ST	100SCCM	¹⁄₄"	1.06
FMA6510ST	200SCCM	¹⁄₄"	1.06
FMA6512ST	500SCCM	¹⁄₄"	1.06
FMA6514ST	1SLM	¹⁄₄"	1.06
FMA6516ST	2SLM	¹⁄₄"	1.06
FMA6518ST	5SLM	¹⁄₄"	1.06
FMA6520ST	10SLM	¹⁄₄"	3.87
FMA6523ST	15SLM	¹⁄₄"	2
FMA6524ST	20SLM	¹⁄₄"	3.5
FMA6526ST	30SLM	¹⁄₄"	8
FMA6528ST	50SLM	¹⁄₄"	8
FMA6540ST	60SLM	³⁄₈"	18.9
FMA6541ST	80SLM	³⁄₈"	18.9
FMA6542ST	100SLM	³⁄₈"	18.9

配件：

型号	说明
FMA65-C	替换电缆25针D-conn，带1.8m（6'）电线，分支到电源
FMA65PWC	电源，25针母头D-conn 110 Vac（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）电线到计算机端口剥线
FMA65PWA	带25针母头D-conn 110V 交流（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）线转模拟接口的电源
FMA65EPWC	欧洲电源，带25 针母头D-conn 230 Vac（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）电线到计算机端口剥线
FMA65UKPWC	英国电源，带25 针母头D-conn 230 Vac（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）电线到计算机端口剥线
FMA65-C15	25针D-conn，带1.8 m（6'）电线到 15 针 DM，分支1.8 m（6'），线到计算机端口剥线

注：随附操作手册、软件、电缆 （FMA65-C） 和 NIST 证书。电源单独出售。

** 指定的流量范围适用于 20 psig 入口（高达 50 SLM）或 25 psig 入口（60至100 SLM 单位）和 0 psig 出口处的氮气或空气。

对于自定义校准，请在型号中添加后缀“-（*），无需额外费用。将型号中的 * 替换为一个或多个气体和入口/出口压力。

仅在环境温度（20C/70F）下进行校准。

要替换标准RS485通信，请在型号中添加后缀“-RS232”，无需额外费用。

对于 4至20 mA 输出，请在型号中添加后缀“-I”，无需额外费用。

要用Perflouoroelastomer O形圈代替标准FKM，请在型号中添加后缀“-K”，需额外费用。

对于氧气清洁装置，在型号中添加后缀“-C”;需额外费用。