产品名称：美国OMEGA气体质量流量控制器

FMA5400A/5500A系列电子气体质量流量计可控制0~10 SCCM范围内高达100 SLM的多种气体的流量。FMA5400A/5500A利用通过加热管进行的热传递测量气体流量，可提供直接的气体质量流量测量值，并且无需对（规定限值以内的）气体温度或压力进行补偿。

该产品可提供经济型铝／铜结构，适合测量普通气体流量，同时可提供316不锈钢结构，适合有更高耐腐蚀要求的应用。不带一体式显示屏的FMA5400A系列流量计具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模拟量输出，以便进行远程监测；FMA5500A系列流量计兼具一体式3-1/2位数字显示屏和模拟量输出。显示屏可倾斜90度，查看读数方便。显示屏经过校准，可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流量（您可以通过专门订购来获得其它气体校准）。

FMA5400A/5500A质量流量控制器具有内置常闭电磁阀，无论入口压力或出口压力如何变化，都能保持流量恒定。设定值可通过电位计（电位计可通过外壳中的访问窗口访问）进行本地控制，也可通过0-5 Vdc或4~20 mA模拟信号（现场可选）远程控制。

FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc电源（zui大电流800 mA），FMA545PW墙壁插入式插座电源可满足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mAzui大值（限43、44、45的规格）。型号为FMA545C（单独提供）的配件提供配接式15针""D""型连接器，带8英尺屏蔽电缆用于访问模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500A系列配备的LCD通过通讯插头与下面的电子设备相连。通过购买FMA18RC远程电缆组件可以远程安装LCD，之后，您必须自行组装组件以便进行LCD的面板安装。

产品规格

精度：

 对于满量程小于100 SLM ±1% FS的装置，在15~25°C（59~77℉）和0.7~4.2 kg/cm²（10~60 psia）下具有线性度。

 对于≥100 SLM的装置，满量程：±1.5% FS，在15~25°C（59~77℉）和 0.7~4.2 kg/cm²（10~60 psia）下在20~100%的范围内具有线性度；在0~20%的范围内为±3% FS。

重复性：0.5％满量程

温度系数：0.15% FS/°C

压力系数：0.01% FS per psi (0.07 bar)

zui大压降：50 psid

响应时间：在25％~100％FS范围内，5秒处于设定流量的±2%范围内

zui大气压：70 kg/cm2表压（1000 psig）（适用于zui高100 SLM的装置）； 35 kg/cm2表压（500 psig）；zui佳1.76 kg/cm（25 psig）

气体和环境温度：5~50°C（41~122℉）

泄露率：对外界环境的zui大泄漏率为1×10-7 cc/sec氦气

接液材质：

 铝制流量计：阳极氧化铝，316 SS，黄铜和FKM O形圈

 不锈钢型号：316 SS 和 FKM O型圈

输出信号：

 线性0~5 Vdc：1000 Ωzui小负载

 4~20 mA：50~500 Ω 环路电阻，±20 mV zui大噪声

传感器电源：12~26 Vdc @ 800 mA 标准 量程比：40:1

装运重量：1.8 kg (4 lb)

合规性：EN55011 1类，B类；EN50082-1

海拔灵敏度：水平流径，倾斜到20°，校准也不会发生偏移

气体相对湿度:0~70% RH

zui小压降

SLM	≤9	10-30	50	60~100	200	500	1000
psid	1.1	3.9	8	18.9	10	12	15

订货信息：

质量流量控制器 Al/Br主体 含显示器	质量流量控制器 316 SS body 含显示器	质量流量控制器 Al/Br主体 不含显示器	质量流量控制器 316 SS body 不含显示器	Zui大流量
FMA5502A	FMA5502A-ST	FMA5402A	FMA5402A-ST	10 SCCM
FMA5504A	FMA5504A-ST	FMA5404A	FMA5404A-ST	20 SCCM
FMA5506A	FMA5506A-ST	FMA5406A	FMA5406A-ST	50 SCCM
FMA5508A	FMA5508A-ST	FMA5408A	FMA5408A-ST	100 SCCM
FMA5510A	FMA5510A-ST	FMA5410A	FMA5410A-ST	200 SCCM
FMA5512A	FMA5512A-ST	FMA5412A	FMA5412A-ST	500 SCCM
FMA5514A	FMA5514A-ST	FMA5414A	FMA5414A-ST	1 SLM
FMA5516A	FMA5516A-ST	FMA5416A	FMA5416A-ST	2 SLM
FMA5518A	FMA5518A-ST	FMA5418A	FMA5418A-ST	5 SLM
FMA5520A	FMA5520A-ST	FMA5420A	FMA5420A-ST	10 SLM
FMA5523A	FMA5523A-ST	FMA5423A	FMA5423A-ST	15 SLM
FMA5524A	FMA5524A-ST	FMA5424A	FMA5424A-ST	20 SLM
FMA5526A	FMA5526A-ST	FMA5426A	FMA5426A-ST	30 SLM
FMA5527A	FMA5527A-ST	FMA5427A	FMA5427A-ST	40 SLM
FMA5528A	FMA5528A-ST	FMA5428A	FMA5428A-ST	50 SLM
FMA5540A	FMA5540A-ST	FMA5440A	FMA5440A-ST	60 SLM
FMA5541A	FMA5541A-ST	FMA5441A	FMA5441A-ST	80 SLM
FMA5542A	FMA5542A-ST	FMA5442A	FMA5442A-ST	100 SLM
FMA5543	FMA5543-ST	FMA5443	FMA5443-ST	200 SLM
FMA5544	FMA5544-ST	FMA5444	FMA5444-ST	500 SLM
FMA5545	FMA5545-ST	FMA5445	FMA5445-ST	1000 SLM

配件：

型号	描述
FMA545C	15针D型母头连接器，含8英尺屏蔽电缆
FMA545PW	100-240 Vac 插座式插接电源
FMA545PW-220VAC	220 Vac 插座式插接电源，欧式插头
FMA545C-10	15针D型母头连接器，含10英尺屏蔽电缆
FMA545C-12	15针D型母头连接器，含12英尺屏蔽电缆
FMA545C-18	15针D型母头连接器，含18英尺屏蔽电缆
FMA545C-25	15针D型母头连接器，含25英尺屏蔽电缆
FMA18RC10	10英尺电缆，适用于远程LCD安装
FMA18RC25	25英尺电缆，适用于远程LCD安装

注：* 带有 20/50 FNPT 连接，而不是压缩接头。配有压缩接头、NIST 证书和操作手册。

电源单独出售。

指定的流量范围适用于25 psig入口（高达60 SLM）或100 psig入口（0至21 SLM 单位）和 1 psig 出口处的氮气或空气。当与其他气体一起使用时，使用倍增因子来确定流速，并且必须在现场重新调整数字显示。

要请求自定义校准，请将气体缩写和入口压力/出口压力作为型号的后缀添加。

校准仅在环境温度下进行，70.125℃（<>℉）

对于氧气清洁装置，请在型号中添加后缀“-C”;需额外费用。